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微流体材料技术和微加工方法
时间:2019-10-03 11:39 来源:365bet足球盘 作者:365bet足球联赛 点击:
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生产微流控芯片的主要材料是硅晶片,玻璃,聚二甲基硅氧烷(PDMS),聚甲基丙烯酸甲酯,聚四氟乙烯和纸基。
其中,PDMS最常用。
这种材料不仅易于加工,而且光学透明,但它也足够灵活,可以制造微型阀和微型蠕动泵等功能部件。
PDMS微阀的密度可达30 / cm。
然而,PDMS材料倾向于吸附小的疏水分子,导致背景和检测偏差增加。
为了克服非特异性吸附问题,使用惰性表面聚四氟乙烯和抗粘附材料来制造微流体芯片。
纸基材通常是指具有三维交错纤维结构的薄材料层,但硝酸纤维素膜也常用于制造纸基微流体芯片。
纸基的低成本,大比表面积和亲水毛细管强度性质使其适合于通过将疏水设计和纵向堆叠与检测相结合来制造便携且易于使用的微流。多步骤和多步操作集成。芯片控制
材料的不同特性决定了不同的微加工方法。
然而,微流控芯片最重要的处理方法是微电子工业中的光刻和表面图案的平滑光刻。
为了产生完整的微流体微通道,通常需要基于两种先前技术连接两种材料。
诸如玻璃和硅晶片的材料通过高温,高压或高压粘合,并且PDMS材料通过氧等离子体处理来限制。




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